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新一代半导体材料氧化镓单晶的制备和超精密加工技术

杨胤萱

【摘要】本文针对新一代半导体材料氧化镓单晶的制备和超精密加工技术进行研究。文章分析国内外氧化镓单晶制备与加工技术的发展现状，研究氧化镓单晶制备技术，包括氧化镓单晶基本性质、氧化镓单晶生长方法分类及原理，探究氧化镓单晶的超精密加工技术。通过研究发现：氧化镓单晶的超精密加工技术能实现高质量表面的制备，使加工精度达到纳米级，有效提高加工精度和质量。

【关键字】氧化镓单晶；制备技术；超精密加工技术

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